Name: Cửa sổ Sapphire chống trầy xước Mohs 9 cho Thiết bị Bán dẫn
Brand: Shanghai Advance Optical-Electronics Technology Co., Ltd
SKU: SW-SEM-CỨNG
Price: 29.00 USD
Availability: InStock

Các sản phẩm
Thấu kính sapphire
Cửa sổ Sapphire chống trầy xước Mohs 9 cho Thiết bị Bán dẫn

Chất lượng Cửa sổ Sapphire chống trầy xước Mohs 9 cho Thiết bị Bán dẫn nhà máy

Đặc điểm kỹ thuật sản phẩm

Nơi xuất xứ: Quảng Đông, Trung Quốc

Tên thương hiệu: ECER Optics

Chứng nhận: ISO 9001:2015

Số mô hình: SW-SEM-CỨNG

Số lượng đặt hàng tối thiểu: 10 miếng

Giá: USD 8-50 / Piece

Điều khoản thanh toán: T/T, PayPal, Western Union

Khả năng cung cấp: 30000 chiếc mỗi tháng

Chi tiết sản phẩm

Làm nổi bật:

Cửa sổ Sapphire chống trầy xước

,

Cửa sổ Thiết bị Bán dẫn

,

Quang học Độ cứng Mohs 9

Product Name: Cửa sổ Sapphire chống trầy xước

Application: xử lý wafer bán dẫn

Hardness: Mohs 9

Material: Sapphire đơn tinh thể Al2O3

Diameter: Tùy chỉnh 10mm - 200mm

Chemical Resistance: Kháng axit, bazơ và huyết tương

Surface Quality: Đào 60-40

Flatness: Lambda/4

Mô tả sản phẩm

Cửa sổ Sapphire chống trầy xước Mohs 9 Viewport thiết bị bán dẫn

Cửa sổ sapphire chống trầy xước này được xây dựng cho các cổng quan sát thiết bị bán dẫn, nơi các buồng xử lý tiếp xúc cửa sổ với plasma, mài mòn hạt và hóa chất làm sạch hung hăng.Cửa sổ được chế tạo từ sapphire tinh thể đơn với độ cứng Mohs là 9, thứ hai chỉ sau kim cương, cho phép nó duy trì bề mặt quang sạch lâu hơn nhiều so với khung nhìn thủy tinh hoặc thạch anh.

Đối với các công cụ xử lý wafer chạy liên tục, cửa sổ sapphire chống trầy xước làm giảm thời gian ngừng hoạt động bảo trì và giữ cho hình ảnh kiểm tra phù hợp trong suốt thời gian hoạt động của buồng.Môi trường bán dẫn đòi hỏi nhiều hơn so với độ cứng, đó là lý do tại sao cửa sổ sapphire này cũng được chỉ định cho khả năng kháng hóa học đối với axit, cơ sở và hóa học plasma, cộng với sự ổn định nhiệt xuyên qua sự biến động nhiệt độ của chu kỳ quy trình.

Mỗi cửa sổ được đánh bóng đến 60-40 chất lượng bề mặt cào với độ phẳng lambda trên 4, và hồ sơ cạnh được nghiền và nghiêng để tránh nồng độ căng thẳng trong sườn lắp đặt.Chiều kính tùy chỉnh từ 10mm đến 200mm và độ dày phù hợp với bình chân không hoặc áp suất khí quyển có sẵn, và mỗi lô hàng bao gồm giấy chứng nhận vật liệu và hồ sơ kiểm tra kích thước để chứng nhận thiết bị.

Thông số kỹ thuật

Tên sản phẩm	Cửa sổ Sapphire chống xé
Vật liệu	Thạch tinh đơn Sapphire Al2O3
Độ cứng	Mohs 9
Chiều kính	10mm - 200mm tùy chỉnh
Độ dày	1.0mm - 8.0mm tùy chỉnh
Chất lượng bề mặt	60-40 Xá đục
Phẳng	Lambda/4 @ 632.8nm
Chống hóa chất	Chống axit, base và plasma
Ứng dụng	Xử lý Wafer bán dẫn
Giấy chứng nhận	Phù hợp với RoHS, ISO 9001:2015

Ưu điểm chính

Độ cứng Mohs 9 chống lại các hạt và vết trầy xước do plasma
Hóa chất trơ trẽn tồn tại hóa chất phòng làm sạch hung hăng
Thermal ổn định tay cầm quá trình nhiệt độ chu kỳ mà không bị gãy
Biên mặt đất nghiêng làm giảm nồng độ căng thẳng trong miếng kẹp lắp đặt
Thời gian sử dụng lâu giảm tần suất thay thế khung ngắm và thời gian ngừng hoạt động
Chứng chỉ vật liệu hỗ trợ trình độ thiết bị bán dẫn
Kích thước tùy chỉnh phù hợp với chân không và khí quyển trình duyệt viewports
Độ rõ ràng quang học nhất quán để kiểm tra wafer thông qua cửa sổ

Cửa sổ sapphire chống trầy xước được thiết kế dựa trên các điều kiện hoạt động thực tế của sản xuất bán dẫn: mở phòng lặp đi lặp lại, làm sạch plasma và dòng hạt mài mòn.Dữ liệu thực địa từ các chương trình dịch vụ thiết bị cho thấy các khung ngắm sapphire thường tồn tại lâu hơn thạch anh nhiều lần trong các công cụ khắc và lắng đọng, điều này trực tiếp làm giảm chi phí sở hữu cho các nhà khai thác nhà máy.

Cửa sổ cũng phù hợp với các ngành công nghiệp lân cận có cùng hồ sơ môi trường khắc nghiệt, bao gồm xử lý màn hình phẳng, sản xuất pin mặt trời và hệ thống lớp phủ chân không.Các kỹ sư thiết kế được hướng dẫn lắp đặt, bao gồm các độ khoan dung và vật liệu niêm phong được khuyến cáo, do đó cửa sổ sapphire chống trầy xước tích hợp vào các thiết kế khung ngắm hiện có mà không cần sửa đổi.

Các câu hỏi và câu trả lời về sản phẩm

Hỏi: Tại sao các khung ngắm bán dẫn cần saphir thay vì thạch anh?

Các buồng xử lý tạo ra plasma, hạt và hóa chất phản ứng nhanh chóng khắc và cào các khung nhìn thạch anh, làm mờ đường quang học.Sapphire với độ cứng Mohs 9 chống lại thiệt hại này trong chu kỳ dài hơn nhiềuKết quả là ít thay đổi khung nhìn hơn và điều kiện kiểm tra ổn định hơn.

Hỏi: Cửa sổ có thể hỗ trợ áp suất nào?

Độ áp suất phụ thuộc vào đường kính, độ dày và thiết kế lắp đặt. Đối với các khung xem 25mm đến 100mm điển hình, độ dày từ 2mm đến 8mm hỗ trợ chân không đến một số thanh áp suất khác biệt.Chúng tôi cung cấp các tính toán độ dày khuyến cáo cho các điều kiện cụ thể của buồng của bạn.

Q: Có thể phủ lớp phủ chống phản xạ trong phạm vi nhìn thấy được không?

Có, trong khi nhiều khung nhìn bán dẫn sử dụng sapphire không phủ để có độ bền tối đa, chúng tôi có thể áp dụng lớp phủ AR bền cho bước sóng kiểm tra nhìn thấy khi cần truyền tải cao hơn.Lớp phủ được xác nhận đối với phơi nhiễm plasma và hóa chất trước khi phát hành.

Hỏi: Tài liệu nào được cung cấp cho trình độ thiết bị?

Mỗi lô hàng bao gồm giấy chứng nhận vật liệu sapphire, báo cáo kiểm tra kích thước, hồ sơ chất lượng bề mặt và tuyên bố RoHS.Đối với các chương trình đủ điều kiện, chúng tôi cũng có thể cung cấp dữ liệu thử nghiệm kháng hóa học cấp lô và kết quả chu kỳ nhiệt.

Các thẻ: